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耀群全廠 品保 廠務 製程 系統及相關應用儀器解決項目 

耀群全厂  品保 厂务  制程 系统及相关应用仪器解决项目

 一,Cleanroom Test Proposal Solution 无尘室量测全方位专业测试方案

Cleanroom>NEBB量测项目之仪器应用及方式:

 

A. 洁净度测试(Particle counter  激光落尘量测仪):

测试方法如下:

                侦测范围:0.1~0.3, 0.5, 1.0, 5.0µm(包含0.1,0.2,or 0.3, 0.5, 5.0µm 即可)

                抽气流速 : 1 cubic feet/min (1 CFM ).

                取样时间 : 1 min       取样体积 : 1 cubic feet     侦测频率 : 1重复量测

                量测高度 : 距地面高度0.9m~1.2m (人员平时操作范围高度)。

                无尘室等级判别依 FED-STD-209E or ISO-14644-1

 

  1. FED-STD-209E 1~100K Metone 3400(34113413342334153425) 均可测试

                        分别对应:3411-1CFM流量,测试粒径0.1, 0.2, 0.3, 0.5, 1.0, 5.0µm (209E Class1~100)

                                 3413-1CFM流量,测试粒径0.3, 0.5, 1.0, 3.0, 5.0, 10.0µm(209E Class100~100K)

                                  3423-1.77CFM流量,测试粒径0.3, 0.5, 1.0, 3.0, 5.0, 10.0µm(209E Class100~10K)

                                  3415-1CFM流量,测试粒径0.5, 1.0, 2.0, 3.0, 5.0, 25.0μm(209E Class1K~100K)

                                  3425-1.77CFM流量,测试粒径0.5, 1.0, 2.0, 3.0, 5.0, 25.0μm(209E Class1K~100K)

                                  3445-100LPM流量,测试粒径0.5, 1.0, 2.0, 3.0, 5.0, 10.0μm(209E Class1K~100K)

    耀群MetOne3400 Feature and benefit:

    超大记忆容量5000

    超方便USB数据输出; 透过随身碟将数据下载

    超清晰TFT 彩色触控屏幕

    超简易Window CE 操作平台

    超坚固流线型不锈钢外壳

    超长时 7hrs 双插槽智能型锂电池

    超稳定超强大 真空PUMP; 可外接8~10 M取样管方便高处滤网泄漏测

     

     

     

    2)ISO14644-1 Class6~9(FED-STD-209E 1K~100K): HHPC+系列(HHPC2+, HHPC3+, HHPC6+

    209E Class1000~100 000 适合机台为掌上型HHPC+系列

HHPC2+  0.5&5.0μm            

HHPC3+  固定0.3μm  其余两通道可选:   0.5&5.0μm or 0.5&1.0μm

HHPC6+  0.3,0.5,1.0,2.0,5.0,10.0μm

多量程,更加合理的通道分配

•2.83lpm流速遵循ISO 14644-1 5级规范1分钟采集0.3μm的样品

非常轻便,仅有1.5lbs(不足1公斤),适合于舒适的手持式应用

  

 

B. 泄漏测试(无须数据提供建议使用设备 MetOne2400/3400/(取样管可接8~10M 仍维持流量1CFM)

 依业主需求

在率网表面扫描,扫描之路径可由外而内或沿长/短边迂回检测

滤网边框(每一滤网均需测试),尤其滤网与Ceiling Grid间气密测试。

                                                                       ATI TDA-2I

滤网之表面(每一滤网均需测试)

利用微粒计数器之方锥形采样器置于滤网下25mm左右,以50mm/sec沿HEPA/ULPA作全面扫描。 

每一组滤网约5分钟为基准测试时间,若测试中完全无泄漏则3分钟即可。

 

 

 

C.  气流速度测试: 建议使用设备  

    热线式(仅适合用在较干净的环境) KIMO VT100S / TSI 9565

    八爪式(矩阵式); 微压差风速计TSI 8715 or Shortridge ADM880C(公认最准)

检测点位于滤网下方75-150mm处。

每一个滤网下,若是使用单点式风速计,则每片至少取4点;。

每量测点取5秒的平均。

依验收标准分析所有风速,并标明不合格测试点。

记录所有数值。

验收标准为业主规定, 建议在0.4~0.8m/sec之间

 

D. 压差测试: 建议使用设备KIMO MP200 数位式即可; or Dywer 指针式压差计or TESTO512亦可

必须在风速、风量、气流等测试完成后,才能测试压力,并且排气与MAU要完全正常运转。

全部门与开口都要关闭。室外大气压力假设为 0.0mmAq 表压力。

      测定洁净区域与相邻较次级洁净区域之压差,再量测房间与Gowning room之间压差,最后量测Gowningroom与外部之压差。

建议压差值为5~12Pa,并无强制规定。                   

记录所有数值。

验收标准为业主规定                                               KIMO MP200

 

 

 

 

E. TSI ACCUBALANCE 8375风量罩测试仪

           风量范围:42~4250 m3/h

           风量精度:3%

           风量解析度:1 m3/h

           风速范围-皮托管0.125~40 m/s

           风速范围-风量探头 0.125~25 m/s

           风速范围-矩阵探头 0.125~12.5 m/s

           压差范围:3735pa

           绝对压力范围:356~1016 mmHg

           功能背压补偿

           选购多种尺寸风罩

           选购生物安全风罩

 

 

 

F. 照度测试: 建议使用设备 INS DX-100/200(适用于黄光区) or TES1332A

量测前须先开灯使用4天以上,以确保灯管已达正常使用状况。

测试时必须先开灯2小时或灯管已达热平衡后方可测试。

量测点平均分布在无尘室内。量测高度1.05 m,测试位置应避免受到日光照射之影响。

测试仪器需在测试区停留3min以上,待其处于稳定之状态,才开始/持续测量。

总照度须依IES规定计算,记录数值于附表内。

 

 

 

 
   

 

 

 

G. 噪音测试: 建议使用设备 八音频IES-1358B

量测点数依业主需求, 距地面高度为 105cm

 

H. 温湿度测试: 建议使用设备 KIMO(法国) Rotronic(瑞士): KIMO HD-200 or Hygro Palm 1

量测点数依业主需求, 距地面高度为 105cm

                                                                                                      KIMO HD-200

 

I. 平行度测试: 建议使用设备 三维超音波风速计(D超音波风速计)or尼龙线

   可了解气流的方向与平行度

J. 气流可视化:

建议使用设备 ASYS KT-200 Air View (纯水)  适合用在观察Cleanbooth;及机台运转时气流之方向

使用纯水无污染; 最后与空调中之湿度调和(规格如下 

      

型号 : ASYS Air View KT-200 气流可视化纯水烟雾机 (Made in TW)

电源:AC 110V 50/60HZ                       

耗电量:75VA   超音波发振周波数:1.7MHZ

喷雾能力:0~0.003 l/min                 

雾化粒径:1~8μm (粒径分布80%在此值内)

送风量:17 liter/min

水槽容量:0.25 liter;可连续使用32mins

外形尺寸200x320x290mm

重量7.1kg

功能

          1.可外接1~2M送风管

          2.安全装置无水自动停机

电源AC 110V 50/60HZ

 

 

 

若需要观测洁净室的气流之方向,需要较大烟雾量,推荐AP-Fogger 

型号:AP-Fogger 气流可视化烟雾产生器

喷雾持续时间:60-80分钟

雾化粒径:8~10μm80%分布在此值内)

喷雾可视距离:一般在4-6英尺之间

喷雾能力:1.89 ~2.83 l/min

水容量:3.7 liter

长宽高/重量:25.4 cm x 22.9 cm x 27.9 cm
            7.7 Kg (
包含水重)

 

 

 

 

CAT也是不错的选择

型号:CAT P12+/P6+气流可视化烟雾产生器

雾化粒径below 0.3 μm: 10 %

           0.3 μm to 0.5 μm: 27 %

           0.5 μm to 1.0 μm: 36 %

           1.0 μm to 5.0 μm: 20 %

           5.0 μm: 7 %

喷雾能力:P12+  0.041 l/min    P6+  0.027 l/min

可视距离:P12+  5 to 7 m       P6+  3 to 5 m

尺寸:(Ø X H): 26 x 32 cm

重量:P12+  12.5 Kg        P6+  10.5 Kg

 

 

K : ASYS UV Particle检测机(对曝光机; 显影机 及偏光板贴附机台效果最为显著)

UV 是使用用人体无害的 UVA  波长: 365nm  

 

1.对于制程机台上之  有机物质; 油渍; 水渍; 带静电Paricle;毛屑;纤维

    胶类物质Particle 皆可观察;

2.无法观察金属屑, 玻璃(可用一般强光灯)

3.若背景为镜面不锈钢 或完全白底 其观察效果较不显著,建议用绿光灯or三色灯辅助;

 

 

 

 

 

L. QIII MAX or Ultra(表面激光落尘量测仪)

QIII 是一款用于测量和检测机台表面微粒子(SPD)的精密仪器,它采用目前最先进的技术来实现量测的精确性和机台的稳定性。

 测量范围:0.30.51.03.05.0 10.0μmQIII MAX);

           0.1, 0.2, 0.3, 0.5, 1.05.0μmQIII Ultra

 

新的静态抽样方式来提高测量精度

新的7”高分辨率WVGA屏提供了清晰的图像和文本信息

新型的采样器可以适用于多种采样环境

支持电池的热插拔操作,延长了工作周期                                           

量测数据可以直接拖过USB端口导出

可以通过USB端口实现软件升级                                                  

6个粒径通道同时监控不同范围particle

 

 

 

M. ASYS无尘室ASYS HMK-100(耀群监制)/RTC-3000(美国原装进口)滚筒无尘衣,手套洁净度量测仪,擦拭布洁净度量测仪

  验证无尘衣的洁净度是否符合国际及国内标准

MANUFACTURED CLOSELY BY IEST-RP-CC3.3:2003

符合国内防静电洁净织物标准《防静电洁净织物》标准号GB/T 24249-2009

       

 

        12英寸大口径滚筒进口,装进和取出测试衣物非常便捷;

       全不锈钢构造,滚筒内外壁经抛光处理,经久耐用且易于清洁;

       前置数码转速计,易于观察转速,屏高5 英寸,4 行屏幕显示,可精确到1/100rpm

       机台维护简易,使用安全系数高,独特的设计使得机台工作状态不易受外界干扰,可确保运作的连续性;

       可调节的橡胶机架底部,使得工作台面保持水平,从而最大程度减小噪音及颤抖;

       操作电源:115volt-50/60Hz,可选配国际通用变压器,随处可用;

   可选配件:1,大承载量手推车,最大承重400磅.2,MetOne,2400,3400 particle counter

 

 

N. UP-100超纯水激光颗粒量测仪

可选择量测范围0.1~5.0μm

量测流量100ml/min

仪器安装操作容易

软体在Window系统下操作

RS2324-20mA传输格式

具镭射状况、泄露及电源警示灯

仪器校正可追溯NIST标准

可接厂务PLCSCADA系统

 

 

 

O.WGS267饮用水/一般水中激光颗粒量测仪

手提式,操作方便

on-lineoff-line操作

6size channels:

  2,3,5,7,9,10,15μm(可设其他Size

取样流量20-120ml/min

采样时间1 Sec 24Hr可程式化

电池操作可持续3Hr

内建打印机

 

 

 

 

P.A-1000 TOC分析仪(在线总有机碳分析仪)

即插即用型-易于安装、启动和操作

在线的TOC测量,可以完全、准确的对样品进行氧化

测量准确,不受压力或流速的影响

可靠性高,坚固耐用,全金属设计

无需试剂或化学品

量测精度高,测试稳定              

 

 

 

.耀群售后服务及专业能力

a.我公司位于苏州高新区,内有CLASS100的小型cleanbooth,校正及维修无需送回国外原厂,可提供即时的服务,可为贵司节省更多的人力,时间及成本,耀群秉承高效,重质量,专业及服务的信念及理念,可就贵司提出之问题作出及时的解答和制定有效的解决方案!

    

  b. 耀群科技/ MetOne维修校正能力 -评估报告

 

 

公司的发展方向:

耀群科技提供全方位的Particle解决方案,包含Air(无尘室, 空调系统)Liquid(DIW纯水, )GasVacuumFMS监控系统及Surface Particle Solution,提供最实时的维修校正的服务

 

 

*应用支持及售后服务Particle Team :

MetOne的原厂-HACH ULTRA派驻一位资深应用工程人员(Bob Latimer)常驻在耀群科技提供最直接、最实时的应用支持及售后服务。

注:Bob Latimer– 18年的专业Particle应用支持经验,HACH ULTRA长驻耀群科技。

 

*校正仪器设备:

  1. < style="text-align:left;font-style:normal;font-weight:normal;margin-top:0cm;margin-bottom:0pt;" > < style="text-align:left;color:rgb(0, 0, 0);font-family:Times New Roman,serif;font-size:10.5pt;font-style:normal;font-weight:normal;margin-top:0cm;margin-bottom:0pt;" >HACH ULTRA原厂受训并拥有合格证书。 < style="text-align:left;color:rgb(0, 0, 0);font-family:Times New Roman,serif;font-size:10.5pt;font-style:normal;font-weight:normal;margin-top:0cm;margin-bottom:0pt;" >ISO的校正维修的能力。 

     

    Service Demo Uint及工程用机台:

    耀群科技公司的维修校正实验室就是客户的维修校正实验室,将来机器若有校正或其它问题,耀群科技的Particle Counter Demo Unit(如下表)可以立刻支持客户。需要更换的零件由耀群替客户库存随时让客户有零件可用。

     

    耀群科技除了Particle Counter并有其它相关应用产品

    耀群科技 致力于各式监控系统, 并代理美国哈希(Hach Ultra)旗下的MetOne /HIAC/ ROYCO/ATI/AnatelParticle微污染相关量测仪器, 以及第三公正无尘室验证服务等。

     

耀群科技现有

Support Demo及工程用的机台

  • Single machine
  • MetOne2400 > 5ea., 0.3µm airborne particle counter
  • MetOne3400 > 2ea., 0.3μm airborne particle counter
  • MetOne2100 >2ea.,
  • 237B, 0.3μm airborne particle counter
  • 227B, 0.3μm airborne particle counter
  • 3000A sampler
  • AFCS sampler
  • 8000A counter
  • Chemshield
  • ASYS KT-200 fogger
  • AU20AU70GY30 surface particle detection
  • Temperature and humidity :RotronicCEMDT-615
  • Noise:IEC651
  • AV:TSI8710TSI8384AADM880C
  • Surface impedance:RT-1000
  • UP100 Liquid particle counter
  • LPC Demo:2000
  • FMS
  • 4815/4915 remote particle counter
  • Manifold for FMS

 And so on

 

 

 

目前客户群遍及大陆及台湾的半导体, 光电面板, 医药等及其相关联产业!! 包括 天马微电子, 北京科华微, 北方微电子,SVA-NEC, 鸿海(富士康), 联电, 华邦,力晶, 茂德, 茂硅, 南亚科技, 元太, 翰宇彩晶, 友达光电, 奇美, 胜华, 中华映管, 台湾凸版, 瑞仪光电, 讯昌, 光宝, 夏普, 日月光, 生达, 中化, 永日化学, 永信制药, 中科院, 工研院, 卫生署疾病管制局, 国防医学院, 台大医院, 华航, 航发中心, 核能厂等等超过1,000家以上。

 

 

 

主要服务项目      

  • < >PLC监控系统-HVAC,无尘室FMCS,纯水监控,CDS, GMS.. < >, particle, 温湿度,风速,压差...etc    < >,CCTV, LED高亮度,高散热,超节能路灯 < >(ISO各级无尘室.无菌室,手术室,食品加工厂,CDA, PN2...) < >,TOC,BOD,COD,DO,电导度等..纯废水监控系统 < >,材料产品表面微粒量测仪,紫光、绿光、钠灯,表面微污然检查灯 < >Hemlke(汉姆克)滚筒无尘衣,手套洁净度量测仪,擦拭布洁净度量测仪 < > < > < >静电量测及消散系统,室内空气质量验证相关仪器 < >Particle Counter(激光落尘量测仪维修、租借、校正 < >Cleanroom,NEBB, 纯水洁净度(颗粒/ml) ,TOC 认证量测工程服务 

     

     

    因此,耀群科技所提供的不只是一个Particle Counter的应用咨询而已,我们更提供了全方位的应用支持服务-Professional Total Solution

     

     

     

    一台仪器设备,除了机台本身的精密优良稳定、价格合理外,

    应提供:1.机台之完整的售后维修校正能力。

    2.实时完善专业的应用支持服务与质量。

    3.完整产品整合及提供全方位的解决方案。

    这些后续所提供专业技术咨询, 及服务效率的实时性,

    在往后机台所延伸的维护成本, 无形之中替贵公司节省其它更庞大的支出。

       

        相信我们秉持HACH ULTRA-PSI原厂的专业服务热诚及耀群科技成熟的经验,是绝对可以让你们放心的。所以,请您考虑耀群科技所提供的产品。

     

    三,目前客户实绩表 :

    大陆的客户群有富士康集团,中芯半导体,上海台积电,上海日月光,上海华微半导体,天马微电,南京统宝,南京四国,翰宇彩欣,宁波奇美电子,宁波奇美材料,菱宏电子,苏州联建,苏州友达,苏州和舰,苏州广辉,北京康宁,太仓龙巨,广东长丰纺织,昆山富泰,等等超过300家以上,涵盖所有产业。

    台湾客户群有台积, 联电, 华邦, 力晶, 茂德, 茂硅, 南亚科技, 通用电子, 立生, 碧悠, 元太, 翰宇彩晶, 友达光电, 广达/广辉, 奇美, 胜华, 胜开, 中华映管, 台湾凸版, 瑞仪光电, 讯昌, 光宝, 夏普, 日月光, 清三电子, 氰胺, 中化, 永日化学勇博工程, 九合工程, 龙泰无尘洗衣, 久登无尘洗衣, 安丽, 优思加, 中科院, 工研院, 工研院量测中心, 卫生署疾病管制局, 国防医学院, 台大医院, 华航, 航发中心, 核能厂等等超过500家以上,涵盖所有产业。

    耀群科技除了Service Engineer有去HACH原厂受训并取得证书外, 苏州、上海和台湾竹北、台南也有完整的校验维修处。耀群公司直接提供 HACH原厂技术支持的服务。相信对贵公司未来在Particle所造成Defect防制上有更大的帮助。

    如需更详细的资料或有关无尘室量测之任何问题欢迎随时与我连络,我们会立即为您解答。

    (具体资料详见实绩表)!


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